特許

J-GLOBAL ID：200903070282875741

磁気記録媒体の製造方法

発明者： 平塚 亮一 ,  西田 康代 ,  天野 俊二 ,  林 弘志 ,  星 一男
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-136179
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268356
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】 非常に薄いカーボン保護膜を均一に形成可能とする。【解決手段】 非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成するに際して、ラマン分光法による測定を行い、1000cm-1〜1800cm-1に出現する蛍光によるバックグランドを含んだラマンスペクトル強度面積に基づいてカーボン保護膜の膜厚を制御する。構造的に異なるカーボンの全ての散乱ピークが認められる1000cm-1〜1800cm-1のラマンスペクトル強度面積とカーボン膜厚の膜厚とには良好な相関性が見られる。したがって、この蛍光によるバックグランドを含んだラマンスペクトル強度面積に基づいてカーボン保護膜の膜厚制御を行うことにより、均一な膜厚を有するカーボン保護膜が形成される。

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に少なくとも金属磁性薄膜及びカーボン保護膜を積層形成する磁気記録媒体の製造方法において、波長514.5nmのアルゴンイオンレーザ励起によるラマン分光法による測定を行い、1000cm-1〜1800cm-1に出現する蛍光によるバックグランドを含んだラマンスペクトル強度面積に基づいてカーボン保護膜の膜厚を制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

Fターム (5件)：

5D112AA07 ,  5D112BC05 ,  5D112FA10 ,  5D112FB30 ,  5D112JJ06