特許
J-GLOBAL ID：200903070286532253
カラー用固体撮像素子
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-154665
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347393
出願日： 1992年06月15日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 半導体基板の主表面における層構造における層数を低減する。また製造工数を低減する。【構成】 半導体基板と、この半導体基板の主表面に形成された複数の光電変換素子と、これら各光電変換素子を露呈させて前記半導体基板表面に形成された遮光膜と、各光電変換素子のそれぞれを被って形成される所定の色のカラーフィルタが多層に形成されているカラー用固体撮像素子において、前記所定の色のうちg線の透過率の低い色のカラーフィルタを最下層に設けるとともに、この最下層のカラーフィルタはこのカラーフィルタを被う必要のない光電変換素子上に相当する領域に孔が設けられている以外に半導体基板の主表面のほぼ全面に形成されている。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、この半導体基板の主表面に形成された複数の光電変換素子と、これら各光電変換素子を露呈させて前記半導体基板表面に形成された遮光膜と、各光電変換素子のそれぞれを被って形成される所定の色のカラーフィルタが多層に形成されているカラー用固体撮像素子において、前記所定の色のうちg線の透過率の低い色のカラーフィルタを最下層に設けるとともに、この最下層のカラーフィルタはこのカラーフィルタを被う必要のない光電変換素子上に相当する領域に孔が設けられている以外に半導体基板の主表面のほぼ全面に形成されていることを特徴とするカラー用固体撮像素子。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
