特許

J-GLOBAL ID：200903070286956525

感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン製造方法並びに電子部品

発明者： 小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-204530
公開番号（公開出願番号）：特開2005-049504
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】厚膜形成可能で、感光特性に優れ、高感度で、低露光量でも良好な形状のパターンが得られ、現像後の残膜率も高く、硬化膜特性にも優れる硬化膜が得られ、熱硬化後の収縮率が小さく、応力緩和に優れ、さらに製造工程の短縮が可能であり、製造コストが削減できる感光性樹脂組成物及びそれを用いたパターン製造方法と電子部品を提供する【解決手段】(A)ジアミン成分及び酸無水物成分が芳香環を有し、且つ、ジアミン成分に非直鎖の屈曲性構造を有するポリイミド前駆体、(B)350以下の分子量を有する付加重合性化合物、及び(C)光開始剤を含む感光性樹脂組成物。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

(A)ジアミン成分及び酸無水物成分が芳香環を有し、且つ、ジアミン成分に非直鎖の屈曲性構造を有するポリイミド前駆体、(B)350以下の分子量を有する付加重合性化合物、及び(C)光開始剤を含む感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F7/037 ,  C08F290/14 ,  C08G73/10 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312

FI (5件)：

G03F7/037 501 ,  C08F290/14 ,  C08G73/10 ,  H01L21/312 B ,  H01L21/30 502R

Fターム (73件)：

2H025AA01 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BC69 ,  2H025BC78 ,  2H025BC92 ,  2H025CA00 ,  2H025CB25 ,  2H025DA01 ,  2H025DA23 ,  2H025FA17 ,  4J027AD04 ,  4J027AD06 ,  4J027BA19 ,  4J027BA20 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD06 ,  4J027CD08 ,  4J027CD10 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PA12 ,  4J043PB02 ,  4J043PC085 ,  4J043QC28 ,  4J043RA05 ,  4J043RA34 ,  4J043RA35 ,  4J043SA03 ,  4J043SA06 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA232 ,  4J043UA262 ,  4J043UA362 ,  4J043UA522 ,  4J043UA532 ,  4J043UA712 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB121 ,  4J043UB151 ,  4J043UB152 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB351 ,  4J043XA19 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA02 ,  4J043ZA33 ,  4J043ZB22 ,  5F058AA02 ,  5F058AA08 ,  5F058AC02 ,  5F058AD04 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03 ,  5F058AH10