測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中野雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190794
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019812
出願日： 1993年07月03日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】光学系の汚れや撮像素子の特性変化があっても精確に寸法を測定できる測定装置を提供する。【構成】撮像素子4から出力される画素信号S1,...は増幅部11で増幅された後、2値化処理部で2値化処理され、被測定物5の寸法が計測される。計測範囲外にある画素ビットの画素信号はホールド部15に記憶される。増幅率制御部12はホールド部15に記憶している画素信号Shと基準値設定部16に記憶されている基準レベルLL(=正常動作時の画素信号レベル)とから増幅部11の増幅率Kの補正値α=LL/Shを演算し、増幅部11の増幅率をK=α・K0(K0は正常動作時の増幅率)に調整する。

請求項（抜粋）：

複数の画素を配列された撮像素子と、前記撮像素子の画素信号を増幅して出力する増幅率可変の出力増幅手段と、検出範囲外にある画素から出力される画素信号もしくは当該検出範囲外の画素信号を前記出力増幅手段で増幅した増幅信号と所定の基準値とを比較し、当該検出範囲外の画素信号の増幅信号が一定出力となるよう前記出力増幅手段の増幅率を調整する手段とからなる測定装置。

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