特許

J-GLOBAL ID：200903070312654877

観察機能付レーザ加工装置

発明者： 舘岡 進 ,  鈴木 克尚
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-147599
公開番号（公開出願番号）：特開平7-001173
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 偏光観察とレーザ加工とを同時に実行できる、アナライザがレーザ光によって損壊されることがない、レーザ加工時にもアナライザの離脱を不要にできる、レーザ加工がアナライザの影響を受けないようにする。【構成】 ポラライザ52、73及びアナライザ66を備えて試料56の偏光観察像を得ることができる、試料に向かう加工用レーザ光の光路と、この加工用レーザ光に逆進する試料の像を含む光の観察系光路とが一部光路を共有する観察機能付レーザ加工装置を前提とする。そして、試料に向かう加工用レーザ光の光路から分離している観察系の専用光路上にアナライザを設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ポラライザ及びアナライザを備えて試料の偏光観察像を得ることができる、上記試料に向かう加工用レーザ光の光路と、この加工用レーザ光に逆進する上記試料の像を含む光の観察系光路とが一部光路を共有する観察機能付レーザ加工装置において、上記試料に向かう加工用レーザ光の光路から分離している観察系の専用光路上に上記アナライザを設けたことを特徴とする観察機能付レーザ加工装置。

IPC (5件)：

B23K 26/02 ,  G02B 21/00 ,  G02B 27/28 ,  G02F 1/13 101 ,  H01S 3/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-164911
  
• 特開昭60-220307
  
• 特開平4-190991