エネルギー分散型元素分析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-184826
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013252
出願日： 1999年06月30日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】小型ガス循環式冷却機の長寿命化を図ることができるエネルギー分散型半導体X線検出器を提供する。【解決手段】エネルギー分散型半導体X線検出器Dと、このエネルギー分散型半導体X線検出器Dを冷却するためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却機のコンプレッサ1および前記エネルギー分散型半導体X線検出器Dを制御するためのコントローラ7と、このコントローラ7と前記コンプレッサ1との間に位置し、コンプレッサ1を時間的に管理することが可能なタイマーユニット8とを備えた。

請求項（抜粋）：

エネルギー分散型半導体X線検出器と、このエネルギー分散型半導体X線検出器を冷却するためのガス循環式冷却機と、ガス循環式冷却機のコンプレッサおよび前記エネルギー分散型半導体X線検出器を制御するためのコントローラと、このコントローラと前記コンプレッサとの間に位置し、コンプレッサを時間的に管理することが可能なタイマーユニットとを備えていることを特徴とするエネルギー分散型元素分析装置。

IPC (4件)：

G01T 1/24 , G01N 23/223 , G01N 23/225 , H01L 31/09

FI (4件)：

G01T 1/24 , G01N 23/223 , G01N 23/225 , H01L 31/00 A

Fターム (22件)：

2G001AA01 , 2G001AA03 , 2G001BA04 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001JA06 , 2G001KA01 , 2G001RA03 , 2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088GG21 , 2G088JJ40 , 5F088AB01 , 5F088AB16 , 5F088BA13 , 5F088BB10 , 5F088DA20 , 5F088KA10 , 5F088LA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

エネルギー分散型半導体X線検出器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-136191 出願人：株式会社堀場製作所

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