特許

J-GLOBAL ID：200903070317994056

静電容量型外力検出装置

発明者： 矢地 兼雄
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271677
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096745
出願日： 1996年09月21日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 変換回路部から発生するノイズを低減することにより、静電容量の分解能を向上させ、外力の検出感度を高める。【解決手段】 基板32上に、加速度、角速度等の外力を静電容量の変化として検出する検出部33と、検出部33から出力される静電容量を電圧に変換する変換回路部37とを一体に形成する。そして、変換回路部37を接合型電界効果トランジスタ39を用いたソースホロワ回路により構成する。これにより、変換回路部37を構成する回路素子の数が減少するため、変換回路部37のノイズが低減する。さらに、接合型電界効果トランジスタの優れた雑音特性によっても変換回路部37のノイズが低減する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に設けられ、外力が作用したときに外力を静電容量の変化として検出する検出部と、前記基板に設けられ該検出部から検出された静電容量を電圧に変換する変換回路部とからなる静電容量型外力検出装置において、前記変換回路部は接合型電界効果トランジスタを用いたソースホロワ回路からなり、前記検出部から検出される静電容量を前記接合型電界効果トランジスタのゲート端子に入力する構成としたことを特徴とする静電容量型外力検出装置。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14 A ,  H01L 29/84 Z