特許

J-GLOBAL ID：200903070331269780

液滴吐出装置、液滴吐出方法、デバイスの製造方法、及び電子機器

発明者： 森 俊正
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-261808
公開番号（公開出願番号）：特開2004-098400
出願日： 2002年09月06日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：

【課題】液状材料の無駄を少なくしてコストダウンを図るとともに生産性の向上を図り、さらには吐出する液状材料(液状体)が透明の場合にも、液滴吐出ヘッドの吐出性能を容易に検査することができるようにした、液滴吐出装置及び液滴吐出方法、さらにはデバイスの製造方法、電子機器を提供する。【解決手段】基体を載置するステージ39の上方に設けられて基体に液滴を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッド34と、ステージ39の移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアFとを有した液滴吐出装置30である。フラッシングエリアFに、液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体41を設けた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基体を載置するステージの上方に設けられて前記基体に液滴を吐出するノズルを備えた液滴吐出ヘッドと、 前記ステージの移動軸に対して少なくとも一方の側方に設けられたフラッシングエリアとを有した液滴吐出装置であって、 前記フラッシングエリアに、液滴吐出ノズルの吐出性能を検査する検査媒体を設けたことを特徴とする液滴吐出装置。

IPC (5件)：

B41J2/175 ,  B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (5件)：

B41J3/04 102Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/00 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (30件)：

2C056EA14 ,  2C056EA27 ,  2C056EB08 ,  2C056EB40 ,  2C056EC24 ,  2C056EC56 ,  2C056EC59 ,  2C056JC11 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007BB07 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4F041BA56 ,  4F041BA60 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA12 ,  4F042BA22 ,  4F042CB07 ,  4F042CB24 ,  4F042DH09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-065250
  
• インクジェット用被記録体及びインクジェット記録装置の調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-115159   出願人：東レ株式会社
• 特開平4-065250