特許

J-GLOBAL ID：200903070337741545

XYθステージ装置及びその制御方法

発明者： 中森 靖仁 ,  堀内 雅彦 ,  冨田 良幸
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 陽介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-177814
公開番号（公開出願番号）：特開2001-356187
出願日： 2000年06月14日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】 構成を簡略化し、軽量化したXYθステージ装置及びその制御方法を提供する。【解決手段】 X軸方向に対向配置される1対のリニアモータ12A、12Bと、X軸に直交するY軸方向に対向配置される1対のリニアモータ14A、14Bと、移載物を積載する可動テーブル30と、X軸Y軸と同一平面内のθ軸方向に、可動テーブル30を回転自在に支承する回転支承手段と、XYエンコーダ42と、θエンコーダと、2対のリニアモータ12A〜14Bをそれぞれ駆動し、可動テーブル30のX軸位置とY軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えた構成とした。

請求項（抜粋）：

X軸方向に対向配置される1対のリニアモータと、前記X軸に直交するY軸方向に対向配置される1対のリニアモータと、移載物を積載する可動テーブルと、前記X軸Y軸と同一平面内のθ軸方向に、前記可動テーブルを回転自在に支承する回転支承手段と、前記2対のリニアモータをそれぞれ駆動し、前記可動テーブルのX軸位置とY軸位置及びθ軸位置を制御する位置制御器とを備えたことを特徴とするXYθステージ装置。

IPC (2件)：

G12B 5/00 ,  G05D 3/12

FI (2件)：

G12B 5/00 T ,  G05D 3/12 P

Fターム (16件)：

2F078CA08 ,  2F078CA10 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CC07 ,  2F078CC11 ,  5H303BB02 ,  5H303BB09 ,  5H303BB14 ,  5H303CC01 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303FF03 ,  5H303HH01