特許
J-GLOBAL ID：200903070341638562
薄膜損傷検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319292
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174740
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：
【要約】【目的】 フイルム上に形成されたセラミックス材のような薄膜体から発生するAE波形を検出し、この検出波を比較的容易な手段により高精度に計数解析し、AE波形の分析,評価を行う薄膜損傷検出装置を提供する。【構成】 試料加圧部11により加圧された試料6からのAE波形に応じて検出部1の圧電素子1aから検出信号を出力し、増幅されたその出力信号vが雑音レベルvnを越えた時刻toをサンプリング開始時刻とし、前記信号vを2乗した2乗計数波形の出力信号Vを求め、その波形の包絡線Vpと、2乗計数波形の最高値Vmaxに定数値mを乗じたVs値とを比較回路16で比較しVs=Vpに対応する時刻tcを求めると共に、前記Vの時間積分値VSと時刻toからtcまでの時間VTを求め、tc,VS,VTを変調回路19に入力し、toからtcまでのVS/VT値を平均エネルギ値として求めこの波高データを波高分析器20で解析し記録部3にメモリする。
請求項（抜粋）：
試料から発した音響を経時的に検出し、対応する波形信号を出力する検出部と、該波形信号が所定の閾値を越える毎にサンプリングを開始し2乗演算を行ってエネルギ波形を作成する2乗回路と、該エネルギ波形がサンプリング開始時点からその波高最大点を通過した後、所定の割合に低下する時点まで時間積分を行い、その結果に従ってサンプリング毎に該エネルギ波形に対応した波高データを連続的に出力する計数部と、該波高データに基づいて試料の損傷解析を行う分析記録部とからなる薄膜損傷検出装置。
引用特許：
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