特許

J-GLOBAL ID：200903070344705228

特にヨーレートセンサのための、マイクロメカニカル式のばね構造体

発明者： アンドレアス キップ ,  イェルク ハウアー ,  ジークベルト ゲッツ ,  マルクス ルッツ
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-545859
公開番号（公開出願番号）：特表2003-517612
出願日： 2000年11月25日
公開日（公表日）： 2003年05月27日
要約：

【要約】本発明は、特にヨーレートセンサのための、マイクロメカニカル式のばね構造体であって、協動する第1のばねビームと第2ばねビーム(151,152)とが設けられており、これらのばねビームが所定の区分で互いにほぼ平行に延びていて、所定の区分で互いに連結されている形式のものに関する。第1のばねビームと第2のばねビーム(151,152)とが、共通の1つの湾曲領域(150)を有しており、該湾曲領域で、結合領域(155)によって互いに連結されている。第1のばねビームと第2のばねビーム(151,152)との間に位置する、結合領域(155)への第1の移行領域(160c,160d)がほぼ曲率増減率が一定であるように延びている。

請求項（抜粋）：

特にヨーレートセンサのための、マイクロメカニカル式のばね構造体であって、協動する第1のばねビームと第2ばねビーム(151,152)とが設けられており、これらのばねビームが所定の区分で互いにほぼ平行に延びていて、所定の区分で互いに連結されている形式のものにおいて、 第1のばねビームと第2のばねビーム(151,152)とが、共通の1つの湾曲領域(150)を有しており、該湾曲領域で、結合領域(155)によって互いに連結されており、 第1のばねビームと第2のばねビーム(151,152)との間に位置する、結合領域(155)への第1の移行領域(160c,160d)がほぼ曲率増減率が一定であるように延びていることを特徴とする、特にヨーレートセンサのための、マイクロメカニカル式のばね構造体。

IPC (4件)：

G01C 19/56 ,  B81B 3/00 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (4件)：

G01C 19/56 ,  B81B 3/00 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

Fターム (11件)：

2F105AA01 ,  2F105BB12 ,  2F105CC04 ,  2F105CC20 ,  4M112AA06 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112DA01 ,  4M112DA07 ,  4M112EA02 ,  4M112EA04