高周波用低損失誘電体材料

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169537
公開番号（公開出願番号）：特開平10-017368
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：

【要約】【課題】従来の低損失誘電体材料は、強度が低く過酷な条件での使用において信頼性が低いものであった。【解決手段】窒化珪素を主体とし、Y,Dy,Er,Yb,Tm,LuおよびScの群から選ばれる少なくとも1種の周期律表第3a族元素化合物と、不純物的酸素を含有する窒化珪素質焼結体からなり、該焼結体中の窒化珪素結晶の粒界が熱処理等によってSi、前記希土類元素および酸素を含む結晶相により完全に結晶化され、該焼結体中におけるアルミニウムの酸化物換算量が2重量%以下、10GHzにおける誘電損失が1×10-4以下であることを特徴とし、マイクロ波、ミリ波等の高周波領域における発振器、アンテナ、フィルター、あるいは電子回路基板等などの高周波用部品、さらには核融合、加速器等に用いられるジャイロトロン、クライストロン等の出力窓等、高周波用構造部品として使用する。

請求項（抜粋）：

窒化珪素を主体とし、Y,Dy,Er,Yb,Tm,LuおよびScの群から選ばれる少なくとも1種の周期律表第3a族元素化合物と、不純物的酸素を含有する窒化珪素質焼結体からなり、該焼結体中の窒化珪素結晶の粒界がSi、前記希土類元素および酸素を含む結晶相により完全に結晶化され、且つ該焼結体中におけるアルミニウムの酸化物換算量が2重量%以下、10GHzにおける誘電損失が1×10-4以下であることを特徴とする高周波用低損失誘電体材料。

IPC (3件)：

C04B 35/584 , H01B 3/12 327 , H01P 7/10

FI (3件)：

C04B 35/58 102 C , H01B 3/12 327 , H01P 7/10

前のページに戻る