ウェハ貼着用粘着シート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-184703
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086212
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【構成】基材面上に、粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層が形成されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該放射線硬化型粘着剤層中において、該放射線重合性オリゴマーが、1〜30μmの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなることを特徴とする。【効果】放射線照射後には、粘着シートの粘着力が大きく低下し、容易にウェハチップを該粘着シートからピックアップすることができる。またある程度の弾性率が維持されるため、エキスパンディング工程において、所望のチップ間隔を得ることが容易になり、かつチップ体のズレ等も発生せず、ピックアップを安定して行えるようになる。

請求項（抜粋）：

基材面上に、粘着剤と放射線重合性オリゴマーとからなる放射線硬化型粘着剤層が形成されてなるウェハ貼着用粘着シートにおいて、該放射線硬化型粘着剤層中において、該放射線重合性オリゴマーが、1〜30μmの分散粒径を有し、かつ均一に分散されてなることを特徴とするウェハ貼着用粘着シート。

IPC (5件)：

H01L 21/301 , C09J 7/02 JJR , C09J 7/02 JJU , C09J 7/02 JKE , C09J 7/02 JLE

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-305808
特開昭63-193981
特開昭62-153376

審査官引用 (3件)

特開平2-305808
特開昭63-193981
特開昭62-153376

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