特許
J-GLOBAL ID：200903070361328357
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181088
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026853
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】大型の試料を観察できる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】カンチレバー32は、xyzスキャナー34に支持された支持部材36に固定され、その自由端に探針38と反射面40が設けられている。支持部材36は水平に延びた腕部36aを有し、その先端部にレーザービームを射出する光源42が取り付けられている。対物レンズ44は、反射面40を焦点とする位置に配置されている。また、対物レンズ44と等倍のリレーレンズ52は、光源42を焦点とする位置に配置されている。対物レンズ44とリレーレンズ52の上方にはそれぞれハーフミラー48とミラー50が光軸に対して45°傾けて配置されている。さらに、ハーフミラー48の上方にはこれを透過したレーザービームを右方向に反射するミラー54が設けられている。ミラー54の右方に配置されたレンズ56の後方焦点位置に合焦検出器58が設けられている。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの自由端部に設けた探針を試料の表面に沿って走査し、探針先端と試料表面の原子間に作用する力に基づいて試料の物理特性を測定する原子間力顕微鏡であり、探針の反対側の面の自由端部に反射面を有しているカンチレバーと、レーザービームを射出するレーザー光源と、カンチレバーの反射面の近傍が合焦面となるようにレーザー光源からのレーザービームをカンチレバーの反射面に照射する照射手段と、カンチレバーの固定端とレーザー光源とを相対位置が変わらぬように支持する支持部材と、支持部材を試料の表面に平行に移動させて探針を試料表面に沿って走査させる走査手段と、カンチレバーの反射面からの反射光によりカンチレバーの自由端部の変位を合焦面からのずれとして検出する合焦検出器とを備えている原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
