特許

J-GLOBAL ID：200903070364310637

紫外域用反射ミラー装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 國分 崇生
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐野 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-051211
公開番号（公開出願番号）：特開2004-260081
出願日： 2003年02月27日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

【課題】照射光の照射による反射特性の経時的な劣化を抑制することが可能な紫外域用反射ミラーを提供する。【解決手段】金属反射面13を有するとともに、金属反射面13の表面に誘電体膜15が積層されたミラー本体10を備えた紫外域用反射ミラー装置において、ミラー本体10を収容するミラー収容部3を有し、ミラー収容部3の内部を水素含有ガス雰囲気とすることにより、金属反射面の酸化反応を抑制するように構成した。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属反射面を有するとともに、該金属反射面の表面に誘電体膜が積層されたミラー本体を備えた紫外域用反射ミラー装置において、 前記ミラー本体を収容するミラー収容部を有し、該ミラー収容部の内部を水素含有ガス雰囲気とすることにより、前記金属反射面の酸化反応を抑制するように構成したことを特徴とする紫外域用反射ミラー装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G02B5/08 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G02B5/08 Z ,  G03F7/20 502

Fターム (26件)：

2H042AA02 ,  2H042AA25 ,  2H042AA32 ,  2H042DA02 ,  2H042DA03 ,  2H042DA04 ,  2H042DA05 ,  2H042DA06 ,  2H042DA07 ,  2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DB02 ,  2H042DE04 ,  2H097AA02 ,  2H097AB09 ,  2H097BA02 ,  2H097CA13 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA27 ,  5F046DB03