特許
J-GLOBAL ID：200903070365125310
電気抵抗式湿度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
関根 光生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-056968
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239264
出願日： 1997年02月25日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：
【要約】【課題】 湿度センサと完全に同一材質を湿度不感構造となし、おん度補正用おん度センサとすることにより、おん度補正を行う線形特性を有する湿度センサは存在しなかった。【解決手段】 線形特性を有するウッドセラミックス基板に電極を形成してなる湿度センサと、前記ウッドセラミックスと同一特性のウッドセラミックス基板に電極を形成するとともに、非吸湿性材質で表面に被膜を形成してなるおん度補正用おん度センサとからなり、湿度センサにより測定した抵抗値をおん度センサにより測定した抵抗値によって補正し、相対湿度に比例した出力電圧を得ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ウッドセラミックス基板に電極を形成してなる湿度センサと、前記ウッドセラミックスと同一特性のウッドセラミックス基板に電極を形成するとともに、非吸湿性材質で表面に被膜を形成してなるおん度補正用おん度センサとからなり、湿度センサにより測定した抵抗値を湿度センサと同一おん度係数を有するおん度センサにより測定した抵抗値によって補正し、相対湿度に比例した出力電圧を得ることを特徴とする電気抵抗式湿度センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 27/12 P
, G01N 27/04 L
, G01N 27/04 B
