特許
J-GLOBAL ID：200903070366122943
共焦点用光スキヤナ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-286112
公開番号（公開出願番号）：特開平5-127090
出願日： 1991年10月31日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ピンホ-ル基板の内外周で明暗むらのない光走査が可能な共焦点用光スキャナを実現する。【構成】 複数のピンホ-ルが形成されたピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおいて、前記ピンホ-ル基板に形成された複数のピンホ-ルは、螺旋状に配置された1条以上のピンホ-ル列であって、かつ、このピンホ-ル列を構成する複数のピンホ-ルの中心を結ぶ仮想中心線の軌跡の径方向のピッチと螺旋に沿った周方向のピッチが等しくなるように配置されたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数のピンホ-ルが形成されたピンホ-ル基板を回転させ、このピンホ-ル基板を通過した照射光を試料に対して走査する共焦点用光スキャナにおいて、前記ピンホ-ル基板に形成された複数のピンホ-ルは、螺旋状に配置された1条以上のピンホ-ル列であって、かつ、このピンホ-ル列を構成する複数のピンホ-ルの中心を結ぶ仮想中心線の軌跡の径方向のピッチと螺旋に沿った周方向のピッチが等しくなるように配置したことを特徴とする共焦点用光スキャナ。
IPC (2件)：
G02B 21/00
, G02B 26/10 107
