特許
J-GLOBAL ID：200903070370403531
形状計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-146630
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337828
出願日： 1999年05月26日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【課題】 回転ミラーの回転数が変化すると、被測定物のエッジ部を通過するまでのレーザ光線の経過時間が変動してエッジ部の測定角度にバラツキが生じ、エッジ部の位置検出を行なう上で誤差が発生するといった課題があった。【解決手段】 基準位置検出器8を有する形状計測装置において、光走査器1によるレーザ光線3の走査周期を検出して、レーザ光線3が基準位置検出器8を通過してから測定された所定の経過時間を、前記光走査器1が基準走査周期で駆動される場合に測定されるであろう正規の経過時間に変換するための補正データを信号処理回路9に出力する補正演算回路10を備える。
請求項（抜粋）：
光源から照射される光線を直線的に走査する1つまたは複数の光走査手段と、被測定物を挟んで前記光走査手段と反対側に配置され、前記光走査手段から走査される光線を受光して当該受光された光線の一部を端部に伝達する受光手段と、該受光手段の前記端部から放射される光線をその光量に応じて電気信号に変換する光電変換手段と、該光電変換手段からの電気信号を入力して前記被測定物のエッジ位置を演算する信号処理手段とを有する形状計測装置において、前記1つまたは複数の光走査手段に対してそれぞれ所定の基準位置に設置され、前記1つまたは複数の光走査手段から走査されるそれぞれの光線の通過時点を特定する1つまたは複数の通過時点特定手段を備えることを特徴とする形状計測装置。
Fターム (29件)：
2F065AA01
, 2F065AA12
, 2F065AA31
, 2F065AA51
, 2F065DD12
, 2F065DD13
, 2F065EE00
, 2F065FF02
, 2F065FF09
, 2F065FF32
, 2F065FF61
, 2F065GG04
, 2F065HH14
, 2F065HH15
, 2F065HH18
, 2F065JJ01
, 2F065JJ17
, 2F065JJ18
, 2F065LL01
, 2F065LL08
, 2F065LL10
, 2F065LL15
, 2F065LL22
, 2F065LL25
, 2F065LL49
, 2F065LL62
, 2F065MM26
, 2F065NN02
, 2F065NN08
