特許
J-GLOBAL ID:200903070373818600

リード曲り検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内原 晋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-170835
公開番号(公開出願番号):特開平5-021560
出願日: 1991年07月11日
公開日(公表日): 1993年01月29日
要約:
【要約】【目的】設置面積を小さく、かつ操作性が優れ、より安価にする。【構成】半導体装置2の側面より突出するリード4先端部4aからの光像を4bからの光像と同一方向に反射させるミラー1を設け、一台のカメラ3でリード4の先端部4a及び平面部を撮像する。
請求項(抜粋):
半導体装置の側面より突出する複数のリードの先端部の光像をリードの先端部と直角をなす平面部の光像と同一方向に反射するミラーを備え、前記先端部の光像及び前記平面部の光像とを1台のカメラで撮像することを特徴とするリード曲り検査装置。
IPC (2件):
H01L 21/66 ,  H01L 23/50
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-190354

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