特許
J-GLOBAL ID：200903070377584680
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031413
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221353
出願日： 1997年01月31日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 解像度・コントラストともに高い顕微鏡像を得ることができる走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 本発明の走査型近接場光学顕微鏡は、試料7を保持する透光性の試料台6と、レーザー光を発する光源1を有する。また、先端に非線形光学物質を有するプローブ9と、試料7の表面近傍にプローブが接近した際における、試料7を透過したレーザー光とプローブ9先端の非線形光学物質との相互作用により発生する検出対象光を選択して検出する手段(光検出器12)を有する。そして、プローブ9の走査位置に対応させて検出対象光の特性値を画像表示する手段13を備える。
請求項（抜粋）：
試料を保持する透光性の試料台と、前記試料に吸収されない波長のレーザー光を発する光源と、前記レーザー光の偏光を直線偏光にする手段と、前記レーザー光を前記試料台を介して前記試料を照射する手段と、先端に非線形光学物質を有するプローブと、前記プローブを前記試料に接近させる手段と、前記プローブが前記試料の表面に沿って走査するように該プローブと該試料を相対的に移動させる手段と、前記プローブと前記試料の間の距離を一定に保つための制御手段と、前記試料の表面近傍に前記プローブが接近した際における、前記試料を透過した前記レーザー光と該プローブ先端の非線形光学物質との相互作用により直接的又は間接的に発生する一つ又は複数の光(検出対象光)を選択して検出する手段と、前記プローブの走査位置に対応させて前記検出対象光の特性値を画像表示する手段と、を備えることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 21/30 Z
