特許

J-GLOBAL ID：200903070379279876

静電アクチュエータ

発明者： 高木 博嗣 ,  八木 隆行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-151949
公開番号（公開出願番号）：特開平8-023685
出願日： 1994年07月04日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 電極間のギャップが精度良く作られ、潤滑層や基板に作られた凹凸の効果により摩擦が低減され実用性の高い小型のアクチュエータを提供する。【構成】 複数の電極を配置した第1基板1、可動子7を分離形成する第2基板2及び窓が形成された第3基板3の、少なくとも第1基板1と第2基板間2あるいは第2基板2と第3基板3のいずれかが有機膜を介して接合された静電アクチュエータ。

請求項（抜粋）：

複数の電極を配置した第1基板、可動子を分離形成する第2基板および窓が形成された第3の基板と、すくなくとも第1基板と第2基板間あるいは第2基板と第3基板のいずれかが有機膜を介して接合された静電アクチュエータ。