高速微細レーザ加工方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047470
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235701
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】簡素な構成によってレーザ光を集光レンズへ偏心させて入射させ、被加工物上に集光点を走査する高速微細レーザ加工方法およびその装置を提供する。【解決手段】レーザ発振器11から集光レンズ3への光路にレーザ光2をX方向に偏心させる平面ガラス14とY方向に偏心させる平面ガラス15を直列に設け、該両平面ガラス14、15の傾斜角度を回動制御することによってレーザ光を被加工物上に走査させるようにした。

請求項（抜粋）：

レーザ光を集光レンズへ偏心させて入射し集光点を被加工物上に走査させて加工する高速微細レーザ加工方法において、レーザ発振器から集光レンズへの光路にレーザ光をX方向に偏心させる平面ガラスとY方向に偏心させる平面ガラスを直列に設け、該両平面ガラスの傾斜角度を回動制御することによってレーザ光を被加工物上に走査させるようにしたことを特徴とする高速微細レーザ加工方法。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , B23K 26/06 , B23K 26/08

FI (3件)：

G02B 26/10 Z , B23K 26/06 Z , B23K 26/08 B

Fターム (5件)：

2H045AF12 , 2H045BA12 , 4E068CB05 , 4E068CD08 , 4E068CE03

引用特許：

審査官引用 (6件)

レーザトーチ用ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-084625 出願人：住友重機械工業株式会社
特開平2-213239
特開平2-213239

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