空間光変調器の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187099
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188309
出願日： 1985年07月30日
公開日（公表日）： 1993年07月30日
要約：

【要約】【目的】この発明は、構成の撓むことができるはりを持つ空間光変調器の新規な製法方法を提案することを目的とする。【構成】この発明の製造方法は、基板上へ導電性の支持柱を立て、基板及び支持柱の上にスペーサ層をデポジットし、支持柱の上方の部分を除きスペーサ層の上に反射層をデポジットし、支持柱の上方の部分のスペーサ層を除去して支持柱の頭部を露出させ、その頭部と反射層とをはり材料で連結し、スペーサ層を除去する工程からなる。

請求項（抜粋）：

空間光変調器の製造方法であって、(a) 導電基板の上へ導電材料製の支持柱を形成し、(b) 前記基板及び支持柱の上にスペーサ層をデポジットし、(c) 前記支持柱の上方の部分を除き前記スペーサ層の上に反射層をデポジットし、(d) 前記支持柱の上方の部分のスペーサ層を除去して前記支持柱の頭部を露出させ、(e) 前記支持柱の頭部と前記反射層とをはり材料で連結し、(f) 前記スペーサ層を除去する工程から成る空間光変調器の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭57-126164
特開昭51-022373

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