特許
J-GLOBAL ID:200903070393648833

感光性樹脂版の現像法およびその現像液

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-024316
公開番号(公開出願番号):特開平7-234523
出願日: 1994年02月22日
公開日(公表日): 1995年09月05日
要約:
【要約】【目的】現像速度および画像再現性の向上を高めた現像方法を見出すこと。【構成】感光性樹脂版を露光後、未露光部を現像液を用いて除去する現像方法において、該現像液が、水に-SO3 M(Mは1価の金属原子、2価の金属原子、3価の金属原子、アンモニウム化合物のいずれかを示す)基含有の炭素数11以下の炭化水素化合物を添加した現像液であることを特徴とする感光性樹脂版の現像法およびその現像液。
請求項(抜粋):
感光性樹脂版を露光後、未露光部を現像液を用いて除去する現像方法において、該現像液が、水に-SO3 M(Mは1価の金属原子、2価の金属原子、3価の金属原子、アンモニウム化合物のいずれかを示す)基を有する炭素数11以下の炭化水素化合物が含有された現像液であることを特徴とする感光性樹脂版の現像法。
IPC (3件):
G03F 7/32 ,  G03F 7/00 502 ,  G03F 7/038
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 特開昭56-060441
  • 特開平4-018563
  • 特開平1-219735
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