特許

J-GLOBAL ID：200903070396484769

超微粒子の製造装置および製造方法

発明者： 滝野沢 洋臣
出願人/特許権者： シーアイ化成株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055755
公開番号（公開出願番号）：特開2002-253954
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】【課題】 高生産性、低製造コスト、高エネルギー効率、製造装置の簡素化および信頼性の向上が可能であり、原料の制約が少なく、不純物が少ない超微粒子の製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】 作用ガス吹き出しノズル2a,2bから作用ガスを吹き出しながら、中心電極と外周電極とを具備する負極プラズマトーチ4aと正極プラズマトーチ4bの各中心電極を通電して、V字状プラズマアークCまたはY字状プラズマアークを形成させ、このV字状プラズマアークCまたはY字状プラズマアークを超微粒子の原料となる原料体3にあて、前記原料体3を気化させて、蒸発ガスを発生させ、該蒸発ガスに反応・冷却ガスを吹き付けて、前記蒸発ガスと前記反応・冷却ガスとを反応およびまたは冷却させて超微粒子を形成する。

請求項（抜粋）：

下記(A)および(B)を具備することを特徴とする超微粒子の製造装置。(A)プラズマアークを発生させるための負極中心電極、および、作用ガスを吹き出す作用ガス吹き出しノズル、および、前記負極中心電極に近接して設けられた正極外周電極を具備する負極プラズマトーチと、プラズマアークを発生させるための正極中心電極、および、作用ガスを吹き出す作用ガス吹き出しノズル、および、前記正極中心電極に近接して設けられた負極外周電極を具備する正極プラズマトーチと、前記負極中心電極および前記正極外周電極を接続した回路に設けられた負極プラズマトーチ用パイロット電源と、前記正極中心電極および前記負極外周電極を接続した回路に設けられた正極プラズマトーチ用パイロット電源と、前記負極中心電極および前記正極中心電極を接続した回路に設けられた主電流電源とを有し、前記負極プラズマトーチおよび前記正極プラズマトーチは、これらの先端から発生するプラズマアークがV字状に接触するように設置されているプラズマアーク発生手段。(B)前記プラズマアークを超微粒子の原料となる原料体にあてることによって発生した蒸発ガスに反応・冷却ガスを吹き付ける反応・冷却ガス吹き付けノズル。

IPC (5件)：

B01J 19/08 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/24 ,  H05H 1/42 ,  H05H 1/44

FI (5件)：

B01J 19/08 K ,  C23C 14/00 A ,  C23C 14/24 F ,  H05H 1/42 ,  H05H 1/44

Fターム (24件)：

4G075AA27 ,  4G075AA42 ,  4G075AA65 ,  4G075BA01 ,  4G075BA06 ,  4G075BB02 ,  4G075BD12 ,  4G075CA12 ,  4G075CA17 ,  4G075CA25 ,  4G075CA47 ,  4G075CA57 ,  4G075CA62 ,  4G075DA01 ,  4G075DA02 ,  4G075EA05 ,  4G075EB01 ,  4G075EB43 ,  4G075EC01 ,  4G075EC21 ,  4G075FB02 ,  4G075FC02 ,  4K029CA03 ,  4K029DD06