特許
J-GLOBAL ID:200903070403535013

光ディスクの成形金型とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-033158
公開番号(公開出願番号):特開平5-234153
出願日: 1992年02月20日
公開日(公表日): 1993年09月10日
要約:
【要約】【目的】良好な情報パターンが形成された高品質の光ディスク基板を得るのに好適な高品質のスタンパである光ディスクの成形金型とその製造方法を提供する。【構成】光ディスクの成形金型は、Niめっき膜4上に薄膜3を形成した鏡面のスタンパ上にホトレジスト5を形成し、情報パターン8をホトレジストに形成後、ドライエッチングすることにより得られる。【効果】光ディスクの成形金型の凹凸の情報パターンはドライエッチングで形成するので、処理条件に変動があっても光ディスクの成形金型の表面は汚染されることがなく、欠陥は減少し、高品質の光ディスク基板を安定に得ることができる。
請求項(抜粋):
光ディスク基板を作製する時のスタンパにおいて、前記スタンパがNi膜と薄膜とから構成され、前記薄膜が10/106(1/°C)以下の線膨張係数からなる金属またはその合金を形成し、前記薄膜に凹凸の情報パターンを形成したことを特徴とする光ディスクの成形金型。
IPC (4件):
G11B 7/26 511 ,  B29C 33/38 ,  C25D 1/00 321 ,  B29L 17:00

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