特許

J-GLOBAL ID：200903070409722850

電流測定方法及び電流測定装置

発明者： 橋本 好弘
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 龍華 明裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-343427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171493
出願日： 1998年12月02日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 半導体デバイスの瞬間的な消費電流を正確に測定すること。【解決手段】 半導体デバイスの端子と半導体デバイスのアース電位との間にコンデンサを接続し、コンデンサを所定の電圧に蓄電し、被試験デバイスを動作させ、所定の試験時間経過後にコンデンサの端子側のテスト電位を測定し、試験時間、コンデンサの容量及びテスト電位に基づいてデバイス電流を算出する。コンデンサを所定の電圧に設定し、コンデンサに所定の電流を与え、所定の時間経過後にコンデンサにおけるDUT端子側の変化電位を測定し、所定の電流、所定の時間、及び変化電位に基づいてコンデンサの容量を算出してもよい。コンデンサを所定の電圧に設定する初期化し、コンデンサに所定の電流を与え、コンデンサの端子側の電位が所定の変化電位になるまでの時間を測定し、所定の電流、時間、及び変化電位に基づいてコンデンサの容量を算出してもよい。

請求項（抜粋）：

半導体試験装置を用いて半導体デバイスの端子に生じるデバイス電流を測定する電流測定方法であって、前記端子と前記半導体デバイスのアース電位との間にコンデンサを接続するステップと、前記コンデンサを所定の電圧に蓄電するステップと、前記被試験デバイスを動作させる動作ステップと、所定の試験時間経過後に前記コンデンサの前記端子側の電位を測定するステップと、前記試験時間、前記コンデンサの容量及び前記電位に基づいて前記デバイス電流を算出するステップとを備えたことを特徴とする電流測定方法。

IPC (3件)：

G01R 19/00 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28

FI (4件)：

G01R 19/00 B ,  G01R 31/26 G ,  G01R 31/28 H ,  G01R 31/28 M

Fターム (36件)：

2G003AA07 ,  2G003AB02 ,  2G003AB07 ,  2G003AE01 ,  2G003AE08 ,  2G003AF06 ,  2G003AH01 ,  2G003AH04 ,  2G003AH05 ,  2G032AA03 ,  2G032AA07 ,  2G032AD01 ,  2G032AD03 ,  2G032AE07 ,  2G032AE08 ,  2G032AE12 ,  2G032AE14 ,  2G032AG10 ,  2G032AH04 ,  2G032AL00 ,  2G035AA13 ,  2G035AB02 ,  2G035AC02 ,  2G035AD04 ,  2G035AD10 ,  2G035AD13 ,  2G035AD19 ,  2G035AD23 ,  2G035AD44 ,  2G035AD49 ,  2G035AD56 ,  2G035AD61 ,  2G035AD65 ,  9A001BB06 ,  9A001KK37 ,  9A001LL05