表面検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-224211
公開番号（公開出願番号）：特開2006-046941
出願日： 2004年07月30日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：

【課題】設置スペースを増大させることなく、効率的に検査対象物の表面状態を検査することができる表面検査装置を提供する。【解決手段】光源11、12およびCCDカメラ30は、印刷版21の上方に固設される。また、保持部22は、印刷版21を保持しつつ、駆動部23によって移動方向AR1に移動可能に設けられている。また、CCDカメラ30の本体部32には、印刷版21の移動方向AR1と略垂直な方向に延伸する複数のCCD(受光部)が設けられている。これにより、CCDカメラ30では、光源11から照射されて印刷版21で反射された反射光と、光源12から照射されて印刷版21で反射された拡散光とを同時に受光することができるため、一度の撮像処理で印刷版21の表面の凹凸状態の検査と印刷版21に描画された印刷画像の描画状況とを同時に検査することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

略平面形状を有する検査対象物の表面状態を検査する検査装置であって、 (a) 検査対象物に対して光を照射する照射部と、 (b) 前記照射部から照射されて前記検査対象物で反射された光を検出する単一の光検出部と、 (c) 前記光検出部によって検出された複数の画像データに基づき、前記検査対象物の表面の凹凸状態と、前記検査対象物に描画された画像の描画状況と、を判定する判定部と、を備え、前記照射部は、 (a-1) 前記検査対象物に対して第1の色を有する光を照射する第1の光源と、 (a-2) 前記検査対象物に対して第2の色を有する光を照射する第2の光源と、を有し、前記光検出部は、 (b-1) 前記第1の光源から照射されて前記検査対象物で正反射された正反射光と、前記第2の光源から照射されて前記検査対象物で拡散反射された拡散光と、を同時に受光する複数の受光部、を有し、前記判定部は、 (i) 前記複数の画像データから前記第1の色に対応する第1の判定画像データを抽出するとともに、前記第1の判定画像データに基づいて前記凹凸状態を、 (ii) 前記複数の画像データから前記第2の色に対応する第2の判定画像データを抽出するとともに、前記第2の判定画像データに基づいて前記描画状況を、それぞれ判定することを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G01N 21/27

FI (3件)：

G01N21/88 Z , G01B11/30 Z , G01N21/27 B

Fターム (55件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065CC02 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF01 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065FF67 , 2F065HH02 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL22 , 2F065LL28 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065QQ04 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065TT08 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB11 , 2G051AB20 , 2G051AC21 , 2G051BA01 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CB05 , 2G051DA07 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA17 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051ED03 , 2G059AA05 , 2G059BB10 , 2G059EE02 , 2G059EE11 , 2G059HH02 , 2G059KK04

引用特許：

出願人引用 (1件)

被検査体の外郭検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-293120 出願人：三菱化成株式会社

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