特許
J-GLOBAL ID：200903070421237879
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-320428
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142419
出願日： 1997年11月06日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 市販のカンチレバーチップを利用し、構成が簡単であって、調整が容易であり、装置設計上の構成の自由度が高く、探針の高速な接近移動と高い精度の接近を可能にする走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針17b を備えた短形カンチレバー18b とこのカンチレバーの動作を検出する光てこ式検出光学系24,25 を備え、試料11をXYZスキャナ12で移動させて両者を接近させ、さらに長形カンチレバー18a と、長形カンチレバーを共振周波数で振動させる圧電素子21と、長形カンチレバーの変位を検出する静電容量変位計19,22 と、その出力信号に基づいて長形カンチレバーが試料に接触したことを検出する判定手段29を備える。
請求項（抜粋）：
先部に探針を備えた測定用カンチレバーとこの測定用カンチレバーの動作を検出する検出機構を備え、試料と前記測定用カンチレバーのうちいずれか一方を移動機構で移動させて両者を接近させるように構成された走査型プローブ顕微鏡において、前記測定用カンチレバーに対して並設された、前記測定用カンチレバーよりも長形の接近監視用カンチレバーと、前記接近監視用カンチレバーを振動させる加振手段と、前記接近監視用カンチレバーの変位を検出する静電容量型変位計と、前記静電容量型変位計の出力信号に基づいて前記接近監視用カンチレバーが前記試料に接触したことを検出する判定手段を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
