特許

J-GLOBAL ID：200903070427096169

内部温度分布測定装置及び内部温度分布測定方法

発明者： 永田 泰昭
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-068354
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270055
出願日： 2002年03月13日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 測定対象物の内部温度分布を正確に測定することができる内部温度分布測定装置及び内部温度分布測定方法を提供する。【解決手段】 超音波発生部10は測定対象物2の内部に斜角の縦波超音波を発生させる。ビーム取得部60は縦波が測定対象物2の表面に戻ってきた位置にレーザビームL3を導き、その表面で反射したレーザビームL3を取得する。干渉計70は超音波振動に起因して生じるレーザビームL3の周波数変化を検出する。コンピュータ90は、超音波発生部20が複数の進行方向の各々に縦波を発生させる度に、レーザビームL3の周波数変化を表す波形データに基づいて当該進行方向に発生した縦波の伝播時間を求めると共に、各進行方向に発生した縦波の伝播時間に基づいて、厚さ方向に沿って予め区分された測定対象物2の各層における縦波音速を算出し、各層の縦波音速に基づいて各層の内部温度を求める。

請求項（抜粋）：

板状の測定対象物をその厚さ方向に沿って複数の層に区分し、前記測定対象物の表面上の所定位置で前記各層の内部温度を測定する内部温度分布測定装置であって、周波数の異なる第一レーザビーム及び第二レーザビームを、それぞれ所定の入射角度で前記測定対象物の同一位置に照射することにより、前記第一レーザビーム及び前記第二レーザビームの干渉を生じさせ、前記測定対象物の内部に、前記測定対象物の表面に対して斜めに進行する超音波を発生させる超音波発生手段と、前記超音波が前記測定対象物の底面で反射して再び表面に戻ってきた位置に、第三レーザビームを導くと共に、前記測定対象物の表面で反射した前記第三レーザビームを取得するビーム取得手段と、前記ビーム取得手段で取得された前記第三レーザビームに基づいて、前記超音波の振動に起因して生じる前記第三レーザビームの周波数の変化を検出する周波数変化検出手段と、前記周波数変化検出手段で検出された前記第三レーザビームの周波数変化を表す波形データに基づいて前記超音波が前記測定対象物の内部を伝播した伝播時間を求める演算手段と、を備え、前記超音波の発生時の進行方向を前記層の数と同じ数だけ予め設定しておき、前記演算手段は、前記超音波発生手段が前記各進行方向に前記超音波を発生させる度に当該進行方向に発生した前記超音波の伝播時間を求めると共に、前記各進行方向に発生した前記超音波の伝播時間に基づいて前記各層における前記超音波の音速を算出し、その算出した前記各層における前記超音波の音速に基づいて前記各層の内部温度を求めることを特徴とする内部温度分布測定装置。

IPC (3件)：

G01K 11/24 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

FI (3件)：

G01K 11/24 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/18

Fターム (12件)：

2F056VS02 ,  2F056VS03 ,  2F056VS05 ,  2F056VS06 ,  2F056VS08 ,  2G047AA07 ,  2G047BC02 ,  2G047BC19 ,  2G047CA04 ,  2G047CB01 ,  2G047EA10 ,  2G047GD01