特許
J-GLOBAL ID：200903070434220460
ウェーハの表面検査方法および検査機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311317
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140084
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ表面のパーティクル検査において、その表面清浄度の把握やび、パーティクルマップ間の相違点の原因解析を補助する。【構成】 ウェーハ表面検査方法は、まず検査機などを用いてウェーハ表面に付着するパーティクルを検知し、これをパーティクルマップ上にその位置や粒径に応じて分類標記する。次に、マップ上の各プロットから与えられた条件を満足するプロットPのみを選択し、これを直線で結ぶ。これにより、マップは星座のような図形パターンG,G’を持つことになり、マップ間の表面清浄度の比較などが容易になる。
請求項（抜粋）：
ウェーハの表面に付着した微粒子情報を示すパーティクルマップを作成し、前記パーティクルマップを解析することにより、ウェーハの表面を検査する方法において、前記パーティクルマップは、与えられた条件を満たす微粒子を選択して、これに対応するプロット同士を直線で結ぶことにより形成される図形パターンを有することを特徴とするウェーハ表面検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/00
, H01L 21/66
