特許

J-GLOBAL ID：200903070434282997

セラミックヒーターとその製造方法及びこれを用いたウエハ加熱装置

発明者： 田中 智
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050976
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244057
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】ウエハ加熱装置に用いるセラミックヒーターにおいて、板状体として炭化珪素質セラミックスを用いた場合、炭化珪素質セラミックスの表面に発熱抵抗体を形成しようとすると、発熱抵抗体に添加しているガラス成分が炭化珪素に濡れず発熱抵抗体が容易に剥離してしまうという課題があった。【解決手段】炭化珪素質セラミックスからなる板状体の一方の主面に、厚み0.05〜2.0μmのSiO2からなる膜と、厚み10〜600μmのガラスからなる絶縁層をこの順に備え、該絶縁層上に発熱抵抗体を備えるとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してセラミックヒーターを構成する。

請求項（抜粋）：

炭化珪素質セラミックスからなる板状体の一方の主面に、厚み0.05〜2.0μmのSiO2からなる膜と、厚み10〜600μmのガラスからなる絶縁層をこの順に備え、該絶縁層上に発熱抵抗体を備えるとともに、該発熱抵抗体と電気的に接続される給電部を具備してなるセラミックヒーター。

IPC (9件)：

H05B 3/16 ,  C04B 41/90 ,  F27D 11/02 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/3065 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/20 328

FI (9件)：

H05B 3/16 ,  C04B 41/90 C ,  F27D 11/02 A ,  H01L 21/205 ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/12 A ,  H05B 3/20 328 ,  H01L 21/30 567 ,  H01L 21/302 B

Fターム (43件)：

3K034AA02 ,  3K034AA34 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034CA02 ,  3K034CA15 ,  3K034EA07 ,  3K034FA16 ,  3K034FA17 ,  3K034FA24 ,  3K034FA39 ,  3K034JA01 ,  3K092PP09 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB76 ,  3K092QC42 ,  3K092QC59 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092SS14 ,  3K092SS24 ,  3K092SS32 ,  3K092TT22 ,  3K092UB02 ,  3K092VV22 ,  3K092VV31 ,  3K092VV34 ,  3K092VV40 ,  4K063AA05 ,  4K063AA12 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063FA03 ,  5F004BB26 ,  5F004BB29 ,  5F045EK09 ,  5F045EM02 ,  5F045EM09 ,  5F046KA04

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ヒーターおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-210014   出願人：イビデン株式会社
• 定着ヒータ,定着装置および画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-077681   出願人：東芝ライテック株式会社
• 定着用ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-200748   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭58-130547