特許

J-GLOBAL ID：200903070435515375

酸化物単結晶の製造方法および装置

発明者： 今枝 美能留 ,  本多 昭彦 ,  今井 克宏
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-319191
出願日： 1996年02月16日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【課題】μ引下げ法によって酸化物単結晶を製造するのに際して、ルツボの大きさを大型化し、あるいは原料の量を増大させても、良好な酸化物単結晶を連続的に引き下げて形成できるようにすることである。【解決手段】酸化物単結晶の原料をルツボ7内で溶融させ、溶融物8に対して種結晶15を接触させる。μ引下げ法によって、溶融物を引下げながら酸化物単結晶14を育成する。ルツボ7と、ルツボ7から延びるノズル部13とを備えており、ノズル部13の下端に単結晶育成部35が設けられている製造装置を使用する。ルツボ7と単結晶育成部35とを、互いに独立に温度制御する。

請求項（抜粋）：

酸化物単結晶の原料をルツボ内で溶融させ、この溶融物に対して種結晶を接触させ、前記溶融物を下方へと向かって引下げながら前記酸化物単結晶を育成する、酸化物単結晶の製造方法であって、前記ルツボと、このルツボから延びるノズル部とを備えており、このノズル部の先端に下方向を向いた単結晶育成部が設けられている製造装置を使用し、前記ルツボと前記単結晶育成部とを互いに独立に温度制御することを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。

IPC (5件)：

C30B 15/20 ,  C30B 15/08 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 ,  C30B 29/60

FI (6件)：

C30B 15/20 ,  C30B 15/08 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 C ,  C30B 29/30 A ,  C30B 29/60

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-109893
  
• 単結晶の育成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-222793   出願人：工業技術院長
• 特開平4-280891
  
• 特開昭52-042479