特許

J-GLOBAL ID：200903070439313440

試料搬送装置

発明者： 天草 貴昭
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-067856
公開番号（公開出願番号）：特開2001-255252
出願日： 2000年03月10日
公開日（公表日）： 2001年09月21日
要約：

【要約】【課 題】 試料交換位置の上方に配置する部材の高さを低くすること。【解決手段】 試料保持部材係止部を有し且つ試料観察位置P1に配置された試料保持部材支持装置4と、前記試料観察位置P1の上方の試料交換位置P2の上方に配置されたワイヤ巻上機11に巻かれたワイヤWと、前記ワイヤWの下端に連結された試料保持部材SHであって前記試料保持部材係止部に係止される係止位置と前記試料保持部材係止部から離脱した離脱位置との間で移動可能な被係止部材を有する前記試料保持部材SHと、前記試料交換位置P2の上方に配置され移動可能に支持された試料保持部材着脱用ロッド支持部材14と、上端が前記試料保持部材着脱用ロッド支持部材14に支持されるとともに前記試料保持部材着脱用ロッド支持部材14の移動時に前記被係止部材を前記係止位置と前記離脱位置との間で移動させる試料保持部材着脱ロッド21とを備えた試料搬送装置。

請求項（抜粋）：

下記の構成要件(A01)〜(A05)を備えたことを特徴とする試料搬送装置、(A01)試料保持部材係止部を有し且つ試料観察位置に配置された試料保持部材支持装置、(A02)試料観察位置に搬送された状態で、前記試料保持部材係止部に係止される係止位置と前記試料保持部材係止部から離脱した離脱位置との間で移動可能な被係止部材を有する試料保持部材、(A03)前記試料観察位置の上方の試料交換位置の上方に配置され、移動可能に支持された試料保持部材着脱用ロッド支持部材、(A04)上端が前記試料保持部材着脱用ロッド支持部材に支持されるとともに前記試料保持部材着脱用ロッド支持部材の移動時に前記被係止部材を前記係止位置と前記離脱位置との間で移動させる試料保持部材着脱ロッド、(A05)前記試料保持部材着脱用ロッド支持部材の下方に配置されるとともに、前記試料観察位置とその上方の試料交換位置との間で前記試料保持部材を搬送する試料保持部材搬送装置。

IPC (2件)：

G01N 13/10 ,  G01N 1/00 101

FI (2件)：

G01N 13/10 D ,  G01N 1/00 101 C