特許

J-GLOBAL ID：200903070440590059

スパッタ装置

発明者： 杉村 幸儀
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-251239
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060936
出願日： 2000年08月22日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】メインテナンス性が向上し、かつ、成膜される薄膜の品質を低下させないスパッタ装置を提供する。【解決手段】内部が減圧されるスパッタ室11と、スパッタ室11に一連のフィルム80を連続的に供給する繰出用ドラム3と、スパッタ室11を通過したフィルム80を巻き取る巻取用ドラム22を備えたスパッタ装置1であって、スパッタ室11内には、フィルム80の移動経路に沿った複数位置に配置されたフィルム80にターゲット材料のスパッタリングを行うための複数のカソード41,42が設けられており、複数のカソード41,42は、スパッタ室11の開口部31aに対して接近および離隔する向きに移動可能に設けられ、開口部31aを開閉するドア部材35に固定されており、ドア部材35の開動作に応じてスパッタ室11の外部に露出することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

内部が減圧されるスパッタ室と、前記スパッタ室に一連のフィルムを連続的に供給するフィルム供給手段と、前記スパッタ室を通過した前記フィルムを巻き取る巻き取り手段とを備えたスパッタ装置であって、前記スパッタ室内には、前記フィルムの移動経路に沿った複数位置に配置された前記フィルムにターゲット材料のスパッタリングを行うための複数のカソードが設けられており、前記複数のカソードは、前記スパッタ室の開口部に対して接近および離隔する向きに移動可能に設けられ、当該開口部を開閉するドア部材に固定されており、前記ドア部材の開動作に応じて前記スパッタ室の外部に露出することを特徴とするスパッタ装置。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/00

FI (2件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/00 B

Fターム (4件)：

4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029DA09 ,  4K029DC16