特許
J-GLOBAL ID：200903070442673563
プローブステーション
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-135963
公開番号（公開出願番号）：特開平6-053293
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 個別に可動のプローブと、チャック組立体20の両方のために、集積された、即座に使用可能の保護性の、Kelvin接続及び遮蔽性システムをもつプローブステーションを提供して従来の欠点を解消する。【構成】 プローブステーションが低電流測定用のステーションの使用を容易にする集積された保護システムと、ライン抵抗に起因する電圧ロスを除くための集積されたKelvin接続を備える。ステーションは少なくとも3つのチャック組立体素子からなるチャック組立体20をもち、第1素子はテスト装置を支持し、その下の第2素子は漏洩電流を減少させる保護体として作用する。前記素子は互いにかつ下にある第3素子である支持構造から電気絶縁される。
請求項（抜粋）：
(a)テスト装置を保持するためのチャック組立体を備え;(b)前記チャック組立体と前記ホルダーの少なくとも一方ををアプローチ軸線に沿って他方に近づけたり遠ざけたりするよう選択的に移動させるための位置調整機構を備え;(c)前記チャック機構は互いに電気的に絶縁されかつ前記アプローチ軸線に沿って前記ホルダーから次第に大きくなる距離をおいて位置した少なくとも分離した第1、第2及び第3のチャック組立体素子を含むプローブステーションにおいて、前記チャック組立体が更に、テスト器具からのケーブルを着脱自在に受入れるための少なくとも1つの着脱自在の電気コネクタ組立体を含み、少なくとも2つの導電性コネクタ素子をもつ前記コネクタ組立体が互いに電気絶縁され、前記コネクタ素子の各々は前記第1と第2のチャック組立体素子の異なった夫々1つに番い関係に電気接続されそして前記第3のチャック組立体素子には電気接続されないことを特徴とするプローブステーション。
引用特許：
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