特許
J-GLOBAL ID:200903070449046556

感光性樹脂組成物、並びにそれを用いた感光性画像形成材料及び感光性画像形成材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-424180
公開番号(公開出願番号):特開2004-252421
出願日: 2003年12月22日
公開日(公表日): 2004年09月09日
要約:
【課題】 黄灯下でのセーフライト性に優れ、青紫色領域で高感度且つ解像性の高い感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 増感剤と、 露光された増感剤との相互作用により、ラジカル、酸及び塩基のうちの少なくともいずれか一種を生成する活性化合物 とを含有する感光性樹脂組成物において、 該増感剤が下記一般式(I)の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。(ここで、R1、R2はそれぞれ独立して水素原子又は任意の置換基を表し、R3は任意の置換基を表す。)【選択図】 なし
請求項(抜粋):
増感剤と、 露光された増感剤との相互作用により、ラジカル、酸及び塩基のうちの少なくともいずれか一種を生成する活性化合物とを含有する感光性樹脂組成物において、 該増感剤が下記一般式(I)の化合物であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F7/004 ,  C08F2/50 ,  G03F7/038 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027
FI (6件):
G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  C08F2/50 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R
Fターム (23件):
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC14 ,  2H025BC42 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB41 ,  2H025CB42 ,  2H025CC17 ,  2H025CC20 ,  4J011SA83 ,  4J011UA02 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
引用特許:
出願人引用 (9件)
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