特許
J-GLOBAL ID：200903070449559430
弾性表面波素子とその製造方法および弾性表面波素子用基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184979
公開番号（公開出願番号）：特開平5-199062
出願日： 1992年07月13日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 弾性表面波素子の周波数変化を極めて小さくするアルミニウム電極を提供すること、また該弾性表面波素子を容易に製造する方法、及び弾性表面波素子用圧電体基板を提供することにある。【構成】 本発明の弾性表面波素子はアルミニウム単結晶膜よりなる電極を具備する。該アルミニウム単結晶膜は弾性表面波素子に使用される単結晶圧電体基板の表面を微小な半球状の島が均一に存在する島状構造にすることにより、蒸着法やスパッタリング法を用いて簡便に形成することができる。
請求項（抜粋）：
圧電体基板上にアルミニウム電極を形成してなる弾性表面波素子において、該アルミニウム電極が単結晶膜であることを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H 9/145
, H03H 3/08
, H03H 9/25
