特許
J-GLOBAL ID：200903070453958128
集積型AFMセンサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-115899
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312562
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：
【要約】【目的】本発明は、カンチレバーのねじれを検出することによって、試料の表面形状を高い分解能で測定することができる集積型AFMセンサーを提供する。【構成】集積型AFMセンサーには、カンチレバー部28のビーム部30に夫々設けられた複数系統のピエゾ抵抗層12の抵抗値の変化をこれらピエゾ抵抗層12に流れる電流の変化から検出する複数系統の抵抗変化検出回路36、38と、これら抵抗変化検出回路36、38から出力された信号に演算を施してカンチレバー部28の“反り”及び“ねじれ”を示す信号を出力する信号処理回路40とを備えている。
請求項（抜粋）：
測定試料の表面形状に対応して変位するカンチレバー部に設けられ、このカンチレバー部の変位に対応して抵抗値が変化する複数系統のピエゾ抵抗層と、これら複数系統のピエゾ抵抗層の抵抗値変化を検出する検出回路と、この検出回路から出力された信号に所定の演算を施して、前記カンチレバー部の変位を検出する信号処理回路と、を備える集積型AFMセンサー。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, H01J 37/28
, G01B 7/34
