電解用電極及び該電極を使用する電解槽

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-106379
公開番号（公開出願番号）：特開平9-268395
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【目的】不純物が混入していない高純度の電解液や電解ガスを生成でき、かつ安定した電解操作を長期間継続できる電解用電極及び該電極を使用する電解槽を提供する。【構成】電極基体、及び該電極基体表面に被覆した導電性ダイアモンド構造の電極物質とから成る陽極5を、その陽極室3内に設置した電解槽。前記陽極が導電性ダイアモンド構造の電極物質を含み、該電極物質が高い耐久性を有し、電解液中に溶解しないため、該電極が長寿命を有するとともに、半導体デバイスの洗浄等に適した高純度の電解液や電解ガスが生成する。

請求項（抜粋）：

電極基体、及び該電極基体表面に被覆した導電性ダイアモンド構造の電極物質とを含んで成ることを特徴とする電解用電極。

IPC (2件)：

C25B 11/04 , C02F 1/46

FI (2件)：

C25B 11/04 , C02F 1/46 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

電気分解による廃水溶質の処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-320357 出願人：イーストマンコダックカンパニー
特開昭58-160860
特開昭58-160860

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