ガスセンサ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：間瀬 ▲けい▼一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-252206
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164570
出願日： 2004年08月31日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】ゾル溶液が常温では液体性を有しかつ所定温度での焼成により固化性を有することに着目して、このゾル溶液を密着層の形成材料として採用し、当該密着層の厚膜状ガス感知層との密着性を良好に確保するようにしたガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】左側及び右側の各密着層70となるゾル溶液を、保護層50の表面のうち各発熱抵抗体30に対する対応表面部位にスピンコート法により層状に塗布し左側及び右側の各ゾル溶液層として形成する。ついで、ガス検知層80及び参照層90となる各ペーストを上記左側及び右側の各ゾル溶液層の表面にスクリーン印刷法により印刷して左側及び右側のペースト層として形成する。然る後、各ゾル溶液層及び各ペースト層を共に焼成し各密着層、ガス検知層及び参照層として形成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体上に厚膜状に形成される多孔質性ガス検知層を有するガスセンサにおいて、前記ガス検知層と前記基体との間に形成される絶縁性密着層を備えて、この密着層は、前記ガス検知層のうち前記密着層の近傍部位に埋まるように、形成されていることを特徴とするガスセンサ。

IPC (1件)：

G01N27/12

FI (2件)：

G01N27/12 B , G01N27/12 M

Fターム (15件)：

2G046BA01 , 2G046BA03 , 2G046BB02 , 2G046BE03 , 2G046EA02 , 2G046EA08 , 2G046EA11 , 2G046FB02 , 2G046FE03 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE34 , 2G046FE35 , 2G046FE38 , 2G046FE44

引用特許：

出願人引用 (5件)

熱型センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-265217 出願人：矢崎総業株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-020681 出願人：日本特殊陶業株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-063223 出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機株式会社

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審査官引用 (6件)

ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-020681 出願人：日本特殊陶業株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-063223 出願人：大阪瓦斯株式会社, 富士電機株式会社
特開平3-287057

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