特許
J-GLOBAL ID:200903070471014030

ポジ型感光性組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-312020
公開番号(公開出願番号):特開平10-153863
出願日: 1996年11月22日
公開日(公表日): 1998年06月09日
要約:
【要約】【課題】 より低い露光エネルギーでも高感度であり、しかも現像性の改善により解像度の良好な画像が形成できるポジ型感光性組成物の提供。【解決手段】 少なくとも、以下のA群から選ばれる少なくとも1つ、及びB群から選ばれる少なくとも1つを有してなることを特徴とするポジ型感光性組成物。〔A群〕a)特定の構造を有する鉄アレーン錯体、b)同ピリリウム塩、c)ホウ素塩及びd)特定の構造を有するアルミナート錯体、〔B群〕それぞれ分子内に親水性基を含有するフェノール系、アクリル系、ポリエステル系及びポリウレタン系の樹脂。
請求項(抜粋):
少なくとも、以下のA群から選ばれる少なくとも1つ、及びB群から選ばれる少なくとも1つを有してなることを特徴とするポジ型感光性組成物。〔A群〕a) 以下の式(1)〜(3)で表される鉄アレーン錯体の少なくとも1種、【化1】(R1は、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数1〜6のアルケニル基、炭素数6〜12のアリール基、X-はアニオンを表す。)b) 下記の構造で表されるピリリウム塩、【化2】(R1〜R9は水素原子、炭素数1〜9のアルキル基、炭素数1〜9のアルケニル基、炭素数1〜9のアルコキシ基、炭素数6〜12のアリール基、X-はアニオンを表す。)c) ホウ素塩、d) 下記の構造で表されるアルミナート錯体、【化3】(R1〜R4の少なくとも1つは炭素数3〜6のアルキル基であり、かつ少なくとも1つはフェニル基、ベンジル基及びアリールオキシ基から選択され、その他は、アルキル基、アルケニル基及びアルコキシ基から選択される。又、D+はカチオンである。)〔B群〕分子内に親水性基を含有するアクリル系樹脂、並びにフェノール系、ポリエステル系及びポリウレタン系の樹脂。
IPC (14件):
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/45 ,  C08K 5/55 ,  C08K 5/56 ,  C08L 33/00 ,  C08L 61/04 ,  C08L 67/00 ,  C08L 71/10 ,  C08L 75/04 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/029
FI (14件):
G03F 7/039 601 ,  C08K 5/45 ,  C08K 5/55 ,  C08K 5/56 ,  C08L 33/00 ,  C08L 61/04 ,  C08L 67/00 ,  C08L 71/10 ,  C08L 75/04 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 506 ,  G03F 7/023 511 ,  G03F 7/029

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