特許
J-GLOBAL ID：200903070472379490
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-214569
公開番号（公開出願番号）：特開平6-309437
出願日： 1993年08月30日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 複数の文字及び/又は図形からなる印字パターンのパターン検査装置に関し、切れのある印字パターンやどのような向きの印字パターンでも自動的に検査する。【構成】 検査手段8は、面積算出手段7により算出された被検査文字パターンの各領域の面積と、存在範囲算出手段6により算出されたそれぞれの存在範囲とから、これら存在範囲内の被検査文字パターンの各領域の面積の総和をそれぞれ算出するとともに、総和を第1のラベル値に基づいて面積算出手段7により算出された標準文字パターンの対応する各領域の面積とそれぞれ比較照合することで被検査文字パターンのパターンの良否を検査する。
請求項（抜粋）：
複数の文字及び/又は図形からなる文字パターンから該文字パターンの濃淡に応じた二値化画像信号を生成する信号生成手段(3)と、該二値化画像信号に基づいて該文字パターンの各領域に固有のラベル値を付与するラベリング手段(4)とを具備したパターン検査装置において、該ラベル値で示される領域の面積を算出する面積算出手段(7)と、前記信号生成手段(3)乃至前記ラベリング手段(4)によって標準文字パターンの複数の文字及び/又は図形の各領域に付与された第1のラベル値より、該標準文字パターンの該各領域相互の相対的な位置関係を算出する標準位置算出手段(5)と、該各領域相互の相対的な位置関係と、前記信号生成手段(3)乃至前記ラベリング手段(4)によって被検査文字パターンの複数の文字/及び又は図形の各領域に付与された第2のラベル値とに基づいて、該被検査文字パターンの該各領域のうち前記標準文字パターンの一領域に対応する領域の存在範囲を、前記標準文字パターンの各領域について算出する存在範囲算出手段(6)と、該第2のラベル値に基づいて前記面積算出手段(7)により算出された該被検査文字パターンの各領域の面積と該存在範囲算出手段(6)により算出された該存在範囲とから、前記標準文字パターンの一領域に対応する該被検査文字パターンの各領域の面積の総和を算出するとともに、該総和を前記第1のラベル値に基づいて前記面積算出手段(7)により算出された前記標準文字パターンの対応する領域の面積とそれぞれ比較照合して該被検査文字パターンのパターンの良否を検査する検査手段(8)とを具備したことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (4件)：
G06F 15/62 410
, G06F 15/70 330
, H01L 21/027
, G01N 21/88
