駆動力測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阪本善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265687
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098256
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】リニアモータ等において固定子と可動子の相対位置の変化に基づく駆動力の変化を測定する。【構成】一対のロードセル1a,1bをリニアモータR1 のリニアコイルC1の両端に当接する。サーボモータ5によってリニアモータR1 のリニアマグネットM1 をリニアコイルC1 に沿って移動させながら、両ロードセル1a,1bの出力の差を算出し、リニアエンコーダ6によって検出されたリニアマグネットM1 の位置とともにメモリ回路8に記憶させる。

請求項（抜粋）：

駆動装置の可動子と固定子のいずれか一方との間に少くとも1個の圧力検出手段を挟持する第1の保持手段と、前記可動子と固定子の他方を保持する第2の保持手段と、前記第1および前記第2の保持手段を相対的に移動させる駆動手段と、前記可動子と固定子の相対位置を検出する位置検出手段からなる駆動力測定装置。

IPC (3件)：

G01L 3/14 , H01L 21/027 , H01L 21/52

前のページに戻る