特許

J-GLOBAL ID：200903070477267770

走査式描画装置

発明者： 柳坂 博
出願人/特許権者： 旭光学工業株式会社
代理人 (1件)： 金井 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-133454
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321778
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 描画制御部におけるイメージデータ処理を高速に行い、基板上を途切れることなく連続して描画することができる走査式描画装置を、提供する。【解決手段】 描画対象となる基板Mを載置するテーブル11と、レーザ光を変調させて射出させるAOM13と、変調されたレーザ光を、テーブル11上の基板Mに対して走査させる走査光学系14と、前記テーブル11を前記走査光学系による主走査方向に直交した副走査方向に移動させるテーブル駆動部18とを、備える走査式描画装置10において、前記走査光学系14が走査する各走査点に対してその走査順にレーザ光照射の開始又は終了を指定する元データに従って、前記AOMを制御するイメージデータを生成しつつ、該イメージデータをAOM13へ送信することとした。

請求項（抜粋）：

描画対象となる媒体を載置するテーブルと、レーザ光を変調させて射出させる変調手段と、該変調手段によって変調された前記レーザ光を、前記テーブル上に載置された前記媒体に対して走査させる走査光学系と、前記テーブルと前記走査光学系とを、該走査光学系による主走査方向に直交した副走査方向に相対移動させる移動手段と、レーザ光照射を開始する走査点である始点が指定された始点データを格納する始点メモリ,レーザ光照射を終了する走査点である終点が指定された終点データを格納する終点メモリ,並びに,これら始点メモリ及び終点メモリから、走査順に、始点データ及び終点データを夫々読み出し、始点データに始点が含まれると該始点以後の各走査点に対してレーザ光を照射させるように指定し、終点データに終点が含まれると該終点の次の走査点以後の各走査点に対してレーザ光を照射させないように指定するイメージデータを生成するパターン生成部を、有し、該パターン生成部により生成されたイメージデータを、前記変調手段へ送信するイメージ生成部とを備えることを特徴とする走査式描画装置。

Fターム (5件)：

2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097CA17 ,  2H097GB04 ,  2H097LA09