特許

J-GLOBAL ID：200903070478755469

走査型近接場光学顕微鏡

発明者： 片岡 俊彦
出願人/特許権者： 新技術事業団
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-249977
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102457
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】【目的】 半導体、絶縁体であっても、また金属等の透明でない試料であっても非接触でナノメータオーダの超高精度表面測定を可能とする高分解能顕微鏡を提供する。【構成】 試料の三次元走査のための送り機構を有する走査型光学顕微鏡において、プローブ部を透光性基体1とこの基体1表面に配設した微小突起2とによって構成し、微小突起体2を試料3に対向させるとともに、その反対側で、基体1に全反射状態で光を入射して試料3からの散乱光を基体1上方において検知する。

請求項（抜粋）：

試料の三次元走査のための送り機構を有する走査型光学顕微鏡において、プローブ部を透光性基体とこの基体表面に配設した微小突起とによって構成し、微小突起体を試料に対向させるとともに、その反対側で、基体に全反射状態で光を入射して試料からの散乱光を基体上方において検知することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。