水晶振動子、及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-023524
公開番号（公開出願番号）：特開2007-208515
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】本発明の目的は、ガラスなどから成る板状の部材に挟まれて封止された水晶振動子、及びその製造方法を提供することである。【解決手段】上記の目的達成の為に、水晶振動素子が第一のウェーハ状部材に複数個形成されたべース基板に載置され、それぞれの水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のウェーハ状部材が被せられる水晶振動子の製造方法で、第一のウェーハ状部材上のベースにフォトリソグラフィー法によりベースパターンを形成する工程(S101)と、ベースパターン上に水晶振動素子を搭載する工程(S102)と、水晶振動素子の周波数調整を行う工程(S103)と、個々の水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のウェーハ状部材を被せる工程(S104)と、複数の水晶振動子が形成されたウェーハを個割り切断する工程(S105)とから成ることを特徴として課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶振動素子が、第一のウェーハ状部材の上に複数個形成されたべース基板に載置され、個々の水晶振動素子が一括的に封止されるように第二のウェーハ状部材が被せられる構成の水晶振動子において、水晶振動素子が載置されるベース基板が複数個形成されたウェーハ状部材上のベース基板のベースパターンがフォトリソグラフィー法を用いて形成されていることを特徴とする水晶振動子。

IPC (4件)：

H03H 3/02 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H01L 41/18

FI (4件)：

H03H3/02 C , H01L41/08 C , H01L41/22 Z , H01L41/18 101A

Fターム (16件)：

5J108AA02 , 5J108BB02 , 5J108CC04 , 5J108CC06 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108EE17 , 5J108GG03 , 5J108GG07 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK07 , 5J108MM08 , 5J108MM15

引用特許：

出願人引用 (4件)

パッケージおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-295249 出願人：シチズン時計株式会社
接合方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-082107 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-361705 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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審査官引用 (13件)

パッケージおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-295249 出願人：シチズン時計株式会社
水晶振動子の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-210283 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
圧電デバイス及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-270431 出願人：セイコーエプソン株式会社

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