圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-174953
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023398
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】方位測定の機能を備えた小型の圧力センサを提供する。【解決手段】ダイアフラム構造を有するシリコンチップ1がガラス台座2に接合されてなる圧力センサであって、ダイアフラム11あるいはガラス台座2上にホール素子5を設けた。

請求項（抜粋）：

ダイアフラム構造を有するシリコンチップがガラス台座に接合されてなる圧力センサであって、前記ダイアフラムあるいはガラス台座上にホール素子を設けたことを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 9/12 , G01C 17/30 , G01R 33/07

FI (3件)：

G01L 9/12 , G01C 17/30 Z , G01R 33/06 H

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