特許

J-GLOBAL ID：200903070489450031

ウェーハの搬送装置における真空保持装置および真空保持解除方法

発明者： 奥山 哲雄 ,  村井 史朗
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-052698
公開番号（公開出願番号）：特開2001-239487
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】 薄いウェーハであっても、搬送後に破損することなく真空吸着パッドから取り出せるようにすることにより搬送可能となる搬送装置を提供する。【解決手段】 複数のエア流路21,22...27が連通する多孔質材からなる真空吸着パッド2を備える。複数のエア流路21,22...27から真空吸着パッド2を介してウェーハSの非研削面を吸引して真空保持する。ウェーハSの真空保持を解除する際には、複数のエア流路21,22...27からウェーハSに向けてエアを噴射するように制御を行う制御手段4が設けられている。

請求項（抜粋）：

複数のエア流路が連通する多孔質材からなる真空吸着部材を備え、前記複数のエア流路から前記真空吸着部材を介してウェーハの非研削面を吸引して、前記ウェーハの非研削面を真空保持する一方、前記ウェーハを片面研削装置に搬入するとともに、前記片面研削装置から搬出する移動部材を備えるウェーハの搬送装置において、前記ウェーハの真空保持を解除する際、前記複数のエア流路から前記ウェーハに向けてエアを噴射するように制御を行う制御手段が設けられていることを特徴とするウェーハの搬送装置における真空保持装置。

IPC (3件)：

B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 15/06 B ,  B25J 15/06 E ,  B25J 15/06 K ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/68 P

Fターム (33件)：

3C007DS05 ,  3C007FS01 ,  3C007FT06 ,  3C007FT11 ,  3C007FU06 ,  3C007GU03 ,  3C007NS09 ,  3C007NS17 ,  3F061AA03 ,  3F061CA01 ,  3F061CB02 ,  3F061CB05 ,  3F061CC11 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  3F061DC03 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA45 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031HA34 ,  5F031HA57 ,  5F031HA58 ,  5F031HA59 ,  5F031HA60 ,  5F031MA21 ,  5F031PA20