特許
J-GLOBAL ID：200903070489544044
長尺体の平面精度測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-049677
公開番号（公開出願番号）：特開平6-207803
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 長尺体の平面精度測定時間の短縮及び測定精度の向上をはかる。【構成】 少なくとも3個の距離センサ2,3と少なくとも3個の突起4a〜4cを設けた定盤1を長尺体の被測定面に当接させ、距離を測定する工程と、測定点が一部重複するように長尺体の長手方向に移動させて再度距離を測定する工程を繰り返し行い、長尺体の長手方向全体にわたって平面精度を測定する。
請求項（抜粋）：
少なくとも3個の距離計と少なくとも3個の突起を有する定盤を前記突起により長尺体の被測定面に当接させて、前記距離計により各測定点の距離計と被測定面間の距離を測定する測定工程と、前記測定点のうち少なくとも1つの測定点が一致するように前記定盤を測定進行方向に移動させ、前記測定工程を繰り返し行う測定工程とからなる長尺体の平面精度測定方法。
IPC (2件)：
G01B 5/28 101
, G01B 21/30 101
